真空電子束熔煉的工藝參數主要有熔化功率、熔化速度、比電能、真空度和漏氣速率等，如熔煉次數、自耗電極與坩堝直徑比、冷卻速率及鑄錠冷卻制度等也須注意合理選擇。在諸參數中，熔化功率、熔化速度及比電能是影響鑄錠質量*重要的因素。在整個熔煉過程中，這3個參數的控制應有所變化。熔煉初期，真空度比較低，爐料及坩堝都處在常溫下，熔池尚未形成，熔化功率應低一些，熔速應慢一些;熔化末期，為了消除鑄錠頂部縮孔，熔化功率及熔速必須有一個逐步下降的過程，以完成補材料的平均比熱容，補縮時間的長短與鑄錠的大小及熔化金有關;而在熔煉中間大部分的正常熔化期內，熔化功率及熔速應保持穩定。

折疊熔化功率

某規格鑄錠在熔煉時所需的電子束功際生產中，常用圖解法來求電子束熔化功率。由圖4可率稱為熔化功率~(kW)或熔煉功率，它與熔煉的金以看出，熔化功率與材質有關;同一材質時，與鑄錠直屬品種、坩堝直徑和熔化速度有關，一般可由下式確徑的平方成正比;而當同一功率時，則鑄錠直徑的自然定:對數與金屬材料的熔點成反比。

N=(K1+K2)V(4.187/60)(c△T+L)

式中N為熔化功率，kw;V為熔化速度，kg/min;c為平均比熱容，J/g·K;L為材料的熔化潛熱，J/g。K1為工藝系數，K2為電子束散射系數，與散射電子及二次發射電子因素有關。在計算時K1+K2一般取1.5~1.7。實際生產中，常用圖解法來求電子束熔化功率。由圖4可以看出，熔化功率與材質有關;同一材質時，與鑄錠直徑的平方成正比;而當同一功率時，則鑄錠直徑的自然對數與金屬材料的熔點成反比。

折疊熔化速度

單位時間內熔化原料的重量，簡稱熔速。它與金屬的提純要求程度有關。熔速通過進料速度得以控制。一般說來，在采用多次熔煉時，金屬的提純主要應放在一次熔煉上，所以，一次熔煉時熔速要小。

比電能 熔化單位質量原料所消耗的熔化功率。其單位為kw/h/kg。它與熔化功率成正比，與熔化速度成反比。

Q=N/V

式中N為熔化功率，kW;V為熔化速度，kg/h。某些金屬材料電子束熔煉比電能的經驗數據列于表中。

折疊真空度及漏氣速率

電子束熔煉一般應在10至10Pa真空度下進行。對于軸向槍電子束熔煉爐也可在10Pa真空度下進行。根據提純要求的不同，對真空度的要求各異，對爐子漏氣速率的要求也不一樣。對金屬材料提純效果要求愈高，則要求真空度愈高，漏氣速率愈小。